شاه نعمت الله ولی در سال 832 و به قولی 834 ه.ق. در کرمان فوت نموده و در ماهان در ميان باغی مصفا مدفون شده است. هستة اوليه گنبدی منفرد بوده که در سال 840 ه.ق. و به دستور "احمدشاه دکنی" ساخته شده و به تدريج توسعه يافته است و 32000 مترمربع مساحت دارد و از چندين صحن تشکيل شده است. ورودی امروزی از شرق است و اولين صحن آن اتابکی نام دارد که به صحن وکيل الملکی راه دارد.

از اين صحن به رواقهای دورة قاجاريه و گنبدخانه و رواق شاه عباسی و صحن حسينيه دسترسی دارد که آخرين صحن آن بيگلربيگی ناميده می شود که به خانة متولی باشی ختم می گردد. اين مجموعه طی شش قرن بنا شده و تداوم معماری ايران را در شش قرن گذشته و به صورت زيبايی به تماشا گذارده است. بيشترين توسعة اين مجموعه در دوران قاجاريه انجام شده و معماران آن (رواق و صحن ميرداماد) استاد "کمال الدين حسين" و بانی آن بکتاش خان , صحن حسينيه "استاد رضا" و بانی آن "عبدالحميد ميرزا" می باشد. صحن وکيل الملکی و رواقها نيز به دستور وکيل الملک اول و دوم در سالهای 1285 ه.ق. بناگرديده است. عناصر تزئينی مجموعه شامل کاشيکاری , کاربندی , مقرنس , گچبری و نقاشی است